Carbide coatings

金属碳化物涂层

极高的热稳定性和耐化学性
Carbide Coatings

Momentive Technologies 独特的金属碳化物涂层为严苛的半导体和化合物半导体材料加工中的石墨提供卓越的保护。其作用是延长石墨组件的使用寿命、维持反应化学计量以及抑制杂质迁移到外延和晶体生长应用中,从而提供更高的良品率和质量优势。

 

我们的碳化钽 (TaC) 和碳化铌 (NbC) 涂层可在高温(最高 2200°C)下保护关键的熔炉和反应器组件免受热氨、氢气和硅蒸气以及熔融金属的腐蚀。Momentive Technologies最终产品或涂层加工。我们广泛的石墨加工和测量能力可满足您的定制要求,而我们的专家工程师团队可随时帮助您设计适合您和您的特定应用的解决方案。

主要特点

2000°C 以上高温稳定性,实现超高温操作

H2NH3SiH4 Si 的耐受性,在恶劣的化学环境中提供保护

抗热震性加快操作周期

与石墨本体的强结合力可以保证长寿面周期内涂层无脱落

超高纯度避免了杂质和污染的产生

保形涂层覆盖满足严格的尺寸公差

潜在应用

GaN 和 SiC 外延 CVD 反应器组件,包括晶圆载具、卫星盘、喷头、顶盖和基座

SiC、GaN 和 AlN 晶体生长组件,包括坩埚、籽晶夹持器、导流筒和过滤器

工业组件,包括电阻加热元件、喷嘴、屏蔽环和钎焊夹具


上表中提供的信息仅供参考。这些信息不是产品或材料推荐,我们与您分享此信息的明确前提是您将运用自己的专业知识和专业判断将这些信息用于特定用例或需求。这些信息仅是一般信息,其有效性可能受 Momentive Technologies 尚不可知的个别因素影响。使用这些信息的人有责任确保对任何特定情况进行适当的解释和应用。

联系我们

我们的业务遍及全球。您所在区域的代表会在 3 个工作日内与您联系。